超高真空排气台
技术指标 ➤工位数:8-16路充排气 ➤控温范围:室温℃~200℃ ➤温度均匀性:±3℃; ➤升温速率:0~10℃/min ➤极限真空:E-8Pa 产品介绍 该设备适用于各种光电电真空器件、零部件排气(充气),包括芯片封装、半导体元器件封装、X射线管制备等工艺。广泛应用于半导体、光伏、太阳能、锂电池等高新行业。设备具有无油、排气速率快、极限真空高等特点,多工位的设计大幅提升了生产效率。 欢迎来电:027-86698905,18907125338
技术指标 ➤工位数:8-16路充排气 ➤控温范围:室温℃~200℃ ➤温度均匀性:±3℃; ➤升温速率:0~10℃/min ➤极限真空:E-8Pa 产品介绍 该设备适用于各种光电电真空器件、零部件排气(充气),包括芯片封装、半导体元器件封装、X射线管制备等工艺。广泛应用于半导体、光伏、太阳能、锂电池等高新行业。设备具有无油、排气速率快、极限真空高等特点,多工位的设计大幅提升了生产效率。 欢迎来电:027-86698905,18907125338